Владимир Резников, Леонид Губырин
Высокочастотные и СВЧ p-i-n диоды
Введение
Благодаря своей относительной простоте и большому числу замечательных свойств полупроводниковые p-i-n структуры уже с 50-х годов нашли широчайшее применение в конструкциях многих разновидностей полупроводниковых диодов, начиная от высоковольтных выпрямительных до фотодиодов и гетеролазеров.
Наиболее уверенно pin-диоды заняли свою нишу в ВЧ- и СВЧ-диапазонах для управления уровнем и (или) фазой СВЧ-сигналов, коммутации ВЧ- и СВЧ-мощности в линиях передач, для защиты радиотехнической аппаратуры от случайных СВЧ-импульсов, для стабилизации СВЧ-мощности , а также в аттенюаторах ВЧ-диапазона.
В этих сферах pin-диоды практически не имеют конкурентов, а из-за фактической невозможности их совмещения на чипе с другими элементами не вытесняются и интегральными схемами.
В отечественной практике pin-диоды СВЧ-диапазона получили название переключательных и ограничительных (в зависимости от рода использования), в ВЧ-диапазоне их называют коммутационными и регулируемыми резистивными (для аттенюаторов). В зарубежной практике в их названии сохранен конструктивно-технологический маркер «PIN-Diodes».
В последнее время из-за резкого расширения производства средств связи, и в частности носимых переговорных устройств специального назначения, наблюдается непрестанное увеличение спроса на pin-диоды. По данным одного из ведущих зарубежных производителей, фирмы HEWLETT PACKARD, годовой прирост потребности в pin-диодах в последние 5 лет достигает 17–33 %, а по отдельным типономиналам и до 2-х раз. Подобная тенденция начинает наблюдаться и в нашей стране, причем характерно, что pin-диоды находят все большее применение не только в аппаратуре специального назначения, но и в коммерческой.
В связи с этим, заводом «ОПТРОН» был проведен комплекс конструкторско-технологических работ по совершенствованию pin-диодов, повышению их качества и принципиальной модернизации ряда типов.
Краткие характеристики pin-диода
Структура типичного pin-диода (рис. 1, а) характеризуется тем, что между двумя сильно легированными областями очень низкого сопротивления n+ и p+ находится активная базовая i-область с высоким удельным сопротивлением (типично ri > 100 омсм, и в ряде приборов вплоть до ri = 200–4000 омсм) и относительно большим временем жизни (электронов и дырок) заряда tэфф(~0,1–1,0 мкс). Толщина базы лежит в пределах wi=3–30 мкм, диаметр меза-структур ai=0,05–2,0 мм.
Рис. 1
Специфические особенности pin-структуры, существенные для работы диодов, заключаются в следующем :
- При работе в прямом направлении на достаточно высоких частотах f, определяемых соотношением
2pfiэфф >> 1 (1)
Дифуззионная емкость p±i- и n±i-переходов полностью их шунтирует, таким образом эквивалентная схема сводится к рис. 1, б, где rпр — сопротивление базы, модулированное прямым током. Соотношение (1) может выполняться уже при частоте f& gt; 10–20 МГц и заведомо справедливо на СВЧ.
- При обратном смещении эквивалентная схема pin-диода представляется в виде рис. 1, в, где rобр — сопротивление i-базы в немодулированном состоянии, равное
rобр=ri wi/si (2)
Реально rобр=0,1–10 кОм.
- При прямом смещении вследствие двойной инжекции, дырок из p+-области и электронов из n+-области вся база «заливается» носителями и в эквивалентной схеме рис. 1, в выполняется
rпр~wi/si -1/tэфф Iпр (3)
Значения rпр в номинальном режиме близки к величине ~ 1 Ом; при изменении прямого тока величина rпр может изменяться в широких пределах по закону, близкому к
rпр~1/ Iпр (4)
- Пробой pin-структуры при отсутствии поверхностных утечек определяется соотношением
Uпроб = Eкр Wi(s) (5),
где Eкр — критическое поле, обычно принимается Eкр=2х105 В/см. Таким образом,
Uпроб = 20Wi(мкм) (5а)
- При протекании прямого тока величина накопленного заряда в базе определяется соотношением
Qнк = Iпр tэфф (6),
поэтому величина tэфф определяется расчетно по паспортному значению Qнк.
- При резком переключении с прямого направления на обратное вначале протекает фаза рассасывания накопленного заряда, длительность которой равна
tас = Qнк/Iрас= tэфф Iпр/ Iрас (7),
где Iрас — обратной ток рассасывания; длительность второй фазы — восстановления обратного сопротивления — определяется дрейфовым процессом под действием поля в базе по порядку величина близка к
tвост = Wi/mp,nUобр (8).
Таким образом, при работе в диапазоне СВЧ и отчасти ВЧ pin-диод (без учета паразитных параметров Cк и Lк) представляет собой линейный резистор, сопротивление которого при прямом смещении rпр значительно меньше, чем при обратном rобр , при этом rпр зависит от прямого тока.
Pin-диоды, предлагаемые заводом «ОПТРОН»
Завод производит все перечисленные виды pin-диодов СВЧ- и ВЧ-диапазонов. Параметры переключательных диодов представлены в табл. 1, ограничительных — в табл. 2.
Таблица 1. СВЧ-переключательные pin-диоды
Тип прибора |
Корпус |
Пробивное напряжение, В |
Рассеи- ваемая мощ- ность Р, Вт |
Общая емкость Сд, пФ |
Накопленный заряд Qнк/Iпр Нк/мА |
Прямое сопротивление mp/Iпр Ом/мА |
2(К)507А, Б |
КД105 |
500 300 |
5 |
0,8 - 1,2 |
200/100 |
1,5/100 |
2(К)509А, Б |
КД105 |
200 |
2 |
0,9 - 1,2 0,7-1,0 |
25/25 |
1,5/100 |
2(К)515А |
КД105 |
100 |
0,5 |
0,4-0,7 |
15/25 |
2,5/25 |
2(К)520А Б |
КД105 |
800 600 |
4 |
0,4-1,0 |
300/100 |
2/100 3/100 |
2(К)537А, Б |
КД-16-1 |
600 300 |
20 |
3 |
400-1000/100 200-1500/100 |
0,5/100 1,0/100 |
2(К)536А-5,6 Б-5,6 |
Б/к |
300 |
1 |
0,08-0,16 0,12-0,21 |
150/10 |
1,5/100 |
2(К)541А-5,6 Б-5,6 |
Б/к |
300 |
0,5 |
0,15-0,22 0,18-0,25 |
60-150/100 |
3,0/100 |
2(К)543А-5,6 Б-5,6 |
Б/к |
100 |
0,5 |
0,12-0,19 0,15-0,22 |
0,5-3/5 |
1,5/5 |
2(К)546А-5,6 Б-5,6 |
Б/к |
300 |
0,5 |
0,12-0,2 |
50-200/100 |
1,5/5 |
2(К)554А-5,6 Б-5,6 |
Б/к |
500 150 |
0,5 |
0,025-0,08 |
- |
2,0/100 |
Таблица 2. СВЧ-ограничительные pin-диоды
Тип прибора |
Корпус |
Пробивное напряжение, В |
Рассеи- ваемая мощ- ность Р, Вт |
Общая емкость Сд, пФ |
Накопленный заряд Qнк/Iпр Нк/мА |
Прямое сопротивление mp/Iпр Ом/мА |
2(К)А534А Б |
КД-102 |
30-110 40-110 |
0,25 0,15 |
0,4-0,65 0,35-0,5 |
0,22-1,0/10 |
0,9-1,8/10 |
2(К)А522А-2 Б-2 |
Б/к |
70 100 |
0,3 |
0,35-0,75 0,1-1,0 |
1/50 |
1,8/100 2,0/100 |
2(К)А550А-5 |
Б/к |
100-180 |
5 |
0,2-0,6 |
0,3-1,0/20 |
0,6-1,0/100 |
Рис. 2
На рис.2 представлены некоторые типовые зависимости параметров от режимов измерения и эксплуатации (как видим, они вполне удовлетворительно подтверждают теоретические соотношения (4,6,7)).
Диоды предназначены для сантиметрового, дециметрового и метрового диапазонов; переключательные применяются в переключательных устройствах, модуляторах, фазовращателях, аттенюаторах; ограничительные — в устройствах ограничения и управления мощностью, защиты входных приемников и для тех же целей в составе герметизированных гибридных схем.
Одна из характерных особенностей современного интереса к СВЧ pin-диодам — это резкое увеличение спроса на бескорпусные приборы. Отметим, что завод «ОПТРОН» предлагает четыре основных разновидности бескорпусных приборов: в виде кристалла с контактными площадками без выводов; с гибкими ленточными выводами; на цилиндрическом металлическом держателе — теплоотводе и на керамическом держателе типа «кроватка».
Накопленный заводом производственный опыт, цикл технологических работ по совершенствованию эпитаксии и сборочных процессов позволяет по специальным соглашениям изготовлять приборы с параметрами, превосходящими, указанные в таблицах 1 и 2. В ряде случаев, напротив, задаваемые на тот или иной прибор параметры оказываются неопределенно завышенными или условия применения не требуют их двухстороннего ограничения. В этих случаях возможна, также по дополнительному соглашения, поставка приборов по сниженным ценам.
Для ВЧ-диапазона завод выпускает коммутационные pin-диоды: КД407А,2Д420А и регулируемые резистивные типов 2Д(КД)413А,Б и КД417А для применения в аттенюаторах радиоприемников и селекторов телевизионных каналов.
Приборы выпускаются в стеклянных корпусах с аксиальными выводами типа КД4 и КД1 (миниатюрный). Диапазон рабочих частот от 10 до 300 МГц, основные параметры приборов приведены в табл. 3. Графики рис. 3 свидетельствуют о том, что для использования в аттенюаторах могут отбираться приборы с очень широким динамическим диапазоном (до четырех порядков изменения rпр).
Таблица 3. ВЧ-переключательные pin-диоды
Тип прибора |
Корпус |
Пробивное напряжение, В |
Общая емкость Сд, пФ |
Накопленный заряд Qнк/Iпр Нк/мА |
Прямое сопротивление mp/Iпр Ом/мА |
2Д420А |
КД4 |
24 |
1,5 |
- |
1,0/10 |
КД407А |
КД4 |
24 |
1,5 |
- |
1,0/10 |
2Д420А/* КД407А,Б,В |
КД2 |
24-100 |
1,3-1,5 |
- |
1,3-1,5/10 |
2(К)Д413А Б |
КД1 |
30 |
0,7 |
2/20 |
30-60/2 40-80/2 |
КД417А |
КД1 |
24 |
0,4 |
- |
25/2 |
Рис. 3
В целях повышения качества коммутационных pin-диодов разработан модернизированный аналог диодов КД407А/2Д420А в корпусе КД2. Эти приборы отличаются высокой температурной стабильностью параметров, повышенным обратным напряжением и могут поставляться по более низким ценам.
Тел. (095) 365-58-52
gub@optron.ru
|